八氟環(huán)丁烷作為芯片工業(yè)生產(chǎn)環(huán)節(jié)用到的重要的一種電子特氣,隨著我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)規(guī)模不斷擴大制程升級,對電子級八氟環(huán)丁烷的需求量也不斷增加,要求越來越嚴(yán)格。
八氟環(huán)丁烷(Octafluorocyclobutane,又稱全氟環(huán)丁烷,簡稱C-318)是美國杜邦公司于20世紀(jì)50年代開發(fā)的一種特種含氟氣體。在常溫下,八氟環(huán)丁烷是一種無色、無味、不可燃的氣體。 在通常條件下,八氟環(huán)丁烷性質(zhì)穩(wěn)定,在高溫、高能量或有金屬催化的條件下,八氟環(huán)丁烷會分解成氟碳化合物。
由于八氟環(huán)丁烷無毒且ODP為零,常代替CFCs被用作混合制冷劑,以減少對大氣臭氧層的破壞。八氟環(huán)丁烷的溫室效應(yīng)指數(shù)是六氟化硫的1/3,并且八氟環(huán)丁烷氣體在均勻電場下的絕緣強度是六氟化硫氣體的1.11~1.80倍,因此,八氟環(huán)丁烷氣體也代替六氟化硫用作高壓電器設(shè)備中的絕緣介質(zhì)。
八氟環(huán)丁烷溫度區(qū)間寬泛,也被用作熱泵工作流體。另外,八氟環(huán)丁烷也被用于大規(guī)模集成電路的蝕刻劑以及光纖領(lǐng)域的清洗劑。 近些年,我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)規(guī)模不斷擴大,對電子級八氟環(huán)丁烷的需求量也不斷增加,隨著芯片制程尺寸的不斷減小,對八氟環(huán)丁烷的純度要求也越來越嚴(yán)苛,純度達到5N級以上才能滿足芯片生產(chǎn)要求.